江苏超日净化设备有限公司
主营产品:CRS型不锈钢硅烷燃烧塔,BF高浓度酸雾净化塔,DGS-B型酸雾净化塔,活性碳纤维
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产品名称: CRBR外延炉尾气净化器
产品编号: CRBR
产品商标: 江苏超日
产品规格: CRB,CRBR
参考价格: 80000
更新日期: 2018/1/16 7:53:16
被阅次数: 7812次
 
  1. 详细说明
随着国内半导体行业的蓬勃发展需要。Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD化学气相沉积工艺尾气所产生的SiO2粉尘在进气口的堵塞问题,曾被人们看作是对国内生产环保设备的工程设计人员的一大挑战。 我公司引进美国先进技术成功研发出了迄今更高效、更可靠、更低成本的Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD化学气相沉积工艺CRB型外延炉尾气净化器。 由于采用了本公司研制生产的先进进气技术和承插式活动进气套管,无需停机的清除粉尘装置,使该洗涤器的一次维护时间可以长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。CRB型外延炉尾气净化器,其产品技术指标达到国际同类产品先进水平,具有结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行噪音低、运行成本低、废气净化效率高、废气处理效果好、设备检修方便、维护停机时间短、设备正常运行时间长、工艺稳定性好、安全可靠等诸多特点。 本公司自主研制的CRB型外延炉尾气净化器,在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室,洗涤器所产生的负压由人工手动控制,补水系统由人工根据工艺情况调节。即使在最苛刻的Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD工艺条件下使用,经过洗涤器的HCl废气在洗涤器的排放口仍在1ppm以下,SiO2粉尘去除率≥99.99%,水溶性气体的清除率高达99.99%。在本行业生产的洗涤器中,江苏超日净化设备有限公司缔造了净化效率最高、维护最方便,运行成本最低的奇迹。
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